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凈化設備潔凈度檢測之潔凈工作臺與層流傳遞窗

凈化設備潔凈度檢測之潔凈工作臺與層流傳遞窗

發布時間:2023-07-27 08:26:49    瀏覽量:331

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規范檢測潔凈設備的潔凈度對提高凈化產品的可信任度具有至關重要的作用,現提供潔凈工作臺與層流傳遞窗的規范潔凈度檢測的方法,以幫助使用者能正確規范的自檢。

一、檢測工具

建議參照美國聯邦標準209E所示,使用粒子計數器檢測潔凈工作臺與層流傳遞窗的潔凈度,使用美國MetOne激光粒子計數器。

二、潔凈工作臺

1、檢測位置

潔凈工作臺分水平流型和垂直流型,檢測口分別為散流板正前方300mm位置和正下方300mm的位置。

2、參考標準

ISO14644-5(美國聯邦標準209E,潔凈等級100級)或按設計要求。微粒允許值:0.3um<300顆;0.5um<100顆

三、層流傳遞窗

1、檢測位置

無菌層流傳遞窗檢測口為散流板下方300mm的位置。

2、參考標準

ISO14644-5(美國聯邦標準209E,潔凈等級100級)或按設計要求。微粒允許值:0.3um<300顆;0.5um<100顆

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